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德沪涂膜设备获得原子层堆积设备及其腔体设备专利腔体设备能构成彼此阻隔的区域

德沪涂膜设备获得原子层堆积设备及其腔体设备专利腔体设备能构成彼此阻隔的区域

时间: 2025-01-21 发布于:其他产品

  金融界2025年1月15日音讯,国家知识产权局信息数据显现,德沪涂膜设备(姑苏)有限公司获得一项名为“一种原子层堆积设备及其腔体设备”的专利,授权公告号 CN 222332051 U,请求日期为2024年5月。

  专利摘要显现,本实用新型公开了一种原子层堆积设备及其腔体设备,腔体设备的堆积腔体具有内腔和开口;旋转载台可旋转地设置在堆积腔体内,旋转载台用于承载基板;上盖设置在堆积腔体的开口处;阻隔组件至少部分设置在上盖的朝向旋转载台的下外表,以将堆积腔体沿旋转载台的旋转方向顺次划分为榜首堆积区域、榜首过渡区域、第二堆积区域、第二过渡区域;榜首源供给组件至少部分设置在上盖的下外表且对应榜首堆积区域;第二源供给组件至少部分设置在上盖的下外表且对应第二堆积区域。本实用新型的腔体设备中可以构成彼此阻隔的榜首堆积区域、榜首过渡区域、第二堆积区域、第二过渡区域。

  天眼查资料显现,德沪涂膜设备(姑苏)有限公司,成立于2022年,坐落姑苏市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱5000万人民币,实缴本钱400万人民币。经过天眼查大数据分析,德沪涂膜设备(姑苏)有限公司参加招投标项目17次,知识产权方面有商标信息1条,专利信息66条,此外企业还具有行政许可3个。

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